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硅片扩散制结用链式推进方法

基本信息

申请号 CN202111216618.8 申请日 -
公开（公告）号 CN113964027A 公开（公告）日 2022-01-21
申请公布号 CN113964027A 申请公布日 2022-01-21
分类号 H01L21/225（2006.01）I;H01L31/18（2006.01）I 分类 基本电气元件;
发明人 曹育红;张胜军;许佳平;符黎明 申请（专利权）人 常州时创能源股份有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 213300江苏省常州市溧阳市溧城镇吴潭渡路8号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种硅片扩散制结用链式推进方法，在链式炉中设置奇数批加热区段和偶数批加热区段；仅当奇数批硅片途径奇数批加热区段时，开启奇数批加热区段的加热装置对途径的奇数批硅片进行高温推进处理；未有奇数批硅片途径奇数批加热区段时，关闭奇数批加热区段的加热装置；仅当偶数批硅片途径偶数批加热区段时，开启偶数批加热区段的加热装置对途径的偶数批硅片进行高温推进处理；未有偶数批硅片途径偶数批加热区段时，关闭偶数批加热区段的加热装置。本发明的硅片扩散制结用链式推进方法，其能对完成BSG沉积的硅片进行高温推进处理，且能避免炉体以及内部氛围持续加热导致温度过高的问题。