一种离子注入纳米强化层的制备方法
基本信息
| 申请号 | CN202111579287.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114457317A | 公开（公告）日 | 2022-05-10 |
| 申请公布号 | CN114457317A | 申请公布日 | 2022-05-10 |
| 分类号 | C23C14/48（2006.01）I;C23C14/14（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 邱维维;王非;李晓会;包知迪 | 申请（专利权）人 | 北京机械工业自动化研究所有限公司 |
| 代理机构 | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人 | - |
| 地址 | 100120北京市西城区德胜门外教场口街1号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种离子注入纳米强化层的制备方法，包括如下步骤：对待加工件进行预处理，采用超声波清洗对所述待加工件进行离子注入前的清洗；将清洗后的所述待加工件放入真空室内，装夹在工装卡具上并抽真空；对所述待加工件进行升温；采用气体离子源或MEVVA离子源对所述待加工件进行非金属离子注入；以及采用MEVVA离子源对所述待加工件进行金属离子注入。本发明在不改变引出离子能量的条件下，通过增加待加工件内部原子之间的间距后，再进行离子注入，大大提高了注入离子入射到工件表面的浓度和深度，改变了工件材料更深层次的化合物，以及强化相，进一步提高了工件材料表面的硬度和抗接触疲劳性能，从而可以进一步延长工件改性层的寿命。 |
