一种高频感应等离子发生器
基本信息
| 申请号 | CN201220161746.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN202587573U | 公开（公告）日 | 2012-12-05 |
| 申请公布号 | CN202587573U | 申请公布日 | 2012-12-05 |
| 分类号 | H05H1/30(2006.01)I | 分类 | 其他类目不包含的电技术; |
| 发明人 | 张海霞;田鹏;车永军 | 申请（专利权）人 | 新疆哥兰德新能源有限公司 |
| 代理机构 | 乌鲁木齐中科新兴专利事务所 | 代理人 | 新疆哥兰德新能源有限公司 |
| 地址 | 843301 新疆维吾尔自治区阿克苏地区阿拉尔市南口振村花园小区8号楼6号房 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及一种高频感应等离子发生器，是一种新型结构的用于多晶硅提纯的高频感应等离子体发生器。该发生器是由内外两层同轴石英管、工作气体进气口、保护气体进气口、切线进气口和进气口组成，采用氩气来冷却等离子发生器提高了安全性的同时还保证了氧化性气分的稳定均匀进入发生器，产生稳定均匀的等离子体，即解决了多晶硅提炼过程中易受到污染的问题，又能保证在生产过程中的安全性。该发生器能够提供稳定、可靠离子束，具有不产生污染物质、耐高温，绝缘性好，不易损坏，气流平稳均匀，保证发生器不被烧坏和等离子体均匀产生排出，更好发挥等离子体的作用。 |
