一种半导体真空插板阀
基本信息
| 申请号 | CN202122325756.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215806419U | 公开（公告）日 | 2022-02-11 |
| 申请公布号 | CN215806419U | 申请公布日 | 2022-02-11 |
| 分类号 | F16K3/02（2006.01）I;F16K3/30（2006.01）I;F16K3/314（2006.01）I;F16K27/04（2006.01）I;F16K31/122（2006.01）I | 分类 | 工程元件或部件；为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施；一般绝热; |
| 发明人 | 邹亚伟;张魁榜;齐英;陈林 | 申请（专利权）人 | 四川九天真空科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 | 代理人 | 王锴 |
| 地址 | 637000四川省南充市西充县多扶工业园 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种半导体真空插板阀，包括阀体、盖板、支撑框架、驱动机构、阀杆和阀板；阀体的侧壁开设有阀门开口，盖板密封盖设在阀体非通路方向的顶部开口上，支撑框架连接在盖板的上方，驱动机构连接在支撑框架上；盖板上开设有通孔，阀杆的一端与驱动机构的输出端相连，阀杆的另一端穿过盖板上的通孔伸进阀体的内腔中，阀板用于封闭阀门开口；阀杆和盖板之间密封连接有套设在阀杆外周的波纹管。阀杆在驱动机构的作用下带动阀板运动以封闭或开启阀门开口的过程中，阀杆与周边部件之间动摩擦少，可以有效减少动摩擦产生的粒子数，而波纹管随阀杆的运动做伸缩运动，可以防止外部粒子进入阀体的内腔中，有利于阀体内腔保持较高的真空度。 |
