一种半导体设备L型真空阀门
基本信息
| 申请号 | CN202120817433.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215059989U | 公开（公告）日 | 2021-12-07 |
| 申请公布号 | CN215059989U | 申请公布日 | 2021-12-07 |
| 分类号 | F16K51/02（2006.01）I;F16K27/00（2006.01）I;F16K31/122（2006.01）I;F16K35/02（2006.01）I;F15B15/14（2006.01）I;F15B15/20（2006.01）I;F15B15/24（2006.01）I;F15B15/26（2006.01）I | 分类 | 工程元件或部件；为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施；一般绝热; |
| 发明人 | 胡开鹏;张魁榜;齐英;陈林 | 申请（专利权）人 | 四川九天真空科技有限公司 |
| 代理机构 | 成都嘉企源知识产权代理有限公司 | 代理人 | 胡建超 |
| 地址 | 637200四川省南充市西充县多扶工业园 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种半导体设备L型真空阀门，包括阀板、运动件和运动导轨件，阀板与阀杆连接，阀杆与运动件连接；安装板内部设置有两条独立完整的气路，安装板的下部安装着第一气缸和第二气缸，两个气缸的气路通过安装板内部的两条气路连接贯通，气缸的内侧设置有机械限位气缸，第一气缸和第二气缸的活塞杆连接着底板，底板连接着两个运动导轨件，运动导轨件侧面设置有第一导轨槽，第一导轨槽与机械限位气缸配合进行限位，运动导轨件另一面设置有两个弧线槽，弧线槽与运动件上的固定件配合运动。本实用新型整体结构简单，部件损耗低，维护成本低，密封的稳定性和持久性高，操作安全。 |
