一种带缓存仓的真空镀膜机
基本信息
| 申请号 | CN202111066491.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113862631A | 公开（公告）日 | 2021-12-31 |
| 申请公布号 | CN113862631A | 申请公布日 | 2021-12-31 |
| 分类号 | C23C14/56（2006.01）I;C23C14/50（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 包松养 | 申请（专利权）人 | 江苏瑞尔光学有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 212300江苏省镇江市丹阳市金陵东路888号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种带缓存仓的真空镀膜机包括底座、副仓组件、插板阀门、主仓组件、真空组件、伞架，所述的副仓组件和主仓组件并排安装在底座上，所述的副仓组件和主仓组件之间通过插板阀门连接在一起，所述的真空组件固定在底座上且与主仓组件内部连通，所述的副仓组件包括副仓、副仓门、双层支架、第一气缸、活动支架、活动板组件，所述的副仓内部的底部设置有U型槽，所述的活动支架配合安装在副仓内部的U型槽内，所述的第一气缸固定在活动支架上。本发明，通过设置的双层支架具有上下移动功能，可以在双层支架上放置两层伞架，可以实现缓冲功能，可以对伞架上的镜片进行镀膜和安装的双重功能，提高工作效率，减少中间环节的等待时间。 |
