一种双仓真空镀膜机用仓门机构

基本信息

申请号 CN202122200944.1 申请日 -
公开(公告)号 CN216005992U 公开(公告)日 2022-03-11
申请公布号 CN216005992U 申请公布日 2022-03-11
分类号 C23C14/22(2006.01)I;C23C14/56(2006.01)I 分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人 包松养 申请(专利权)人 江苏瑞尔光学有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 212300江苏省镇江市丹阳市金陵东路888号
法律状态 -

摘要

摘要 一种双仓真空镀膜机用仓门机构,包括门框、第一连接框、第二连接框、气缸、升降组件、仓门,所述的第一连接框和第二连接框对称安装在门框上的左右两侧且与门框导通,所述的气缸安装在门框内部的上下内壁的四角,所述的升降组件与气缸连接在一起,所述的仓门配合安装在左右两个升降组件上,所述的仓门靠近第一连接框。本实用新型,通过电机驱动丝杆做回转运动,螺纹滑块在丝杠回转时候上下移动从而带动仓门上下移动,上下气缸共同作用下,推动升降组件前后移动,实现仓门的开闭作业,方便快捷。