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大型三氯氢硅合成装置及合成方法

基本信息

申请号 CN200510200333.X 申请日 -
公开（公告）号 CN1291912C 公开（公告）日 2006-12-27
申请公布号 CN1291912C 申请公布日 2006-12-27
分类号 C01B33/08(2006.01);C01B33/107(2006.01) 分类 无机化学;
发明人 沈祖祥;严大洲;汤传斌;肖荣晖 申请（专利权）人 中国有色工程有限公司
代理机构 北京中建联合知识产权代理事务所 代理人 中国有色工程设计研究总院;中国有色工程有限公司
地址 100038北京市北京市海淀区复兴路12号
法律状态 -

摘要

摘要 一种大型三氯氢硅合成装置，为筒形结构，上部筒体直径扩大部分是气固分离段，该段设有出料口，中部的直筒段是反应段，反应段外包加热器，加热器上方设有硅粉进料口，底部连接下封头，下封头上开有氯化氢进气口，下封头还开有排渣口，其筒体的反应段底部的氯化氢进气口上方设置气体分布板，气体分布板上分布有气孔，筒体内置有内换热套管，内换热套管与筒体外的热媒进管和热媒出管连通。本发明解决了规模化生产三氯氢硅的问题，具有拆卸方便、合成能力大、反应稳定、原料利用率或转化率高、产品中三氯氢硅含量高的特点。主要用于有色冶金、电子材料和化工等领域。