三氯氢硅加压提纯方法及其装置
基本信息
| 申请号 | CN200510200334.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN1330569C | 公开（公告）日 | 2007-08-08 |
| 申请公布号 | CN1330569C | 申请公布日 | 2007-08-08 |
| 分类号 | C01B33/08(2006.01);C01B33/107(2006.01) | 分类 | 无机化学; |
| 发明人 | 沈祖祥;严大洲;汤传斌;肖荣晖 | 申请（专利权）人 | 中国有色工程有限公司 |
| 代理机构 | 北京中建联合知识产权代理事务所 | 代理人 | 中国有色工程设计研究总院;中国有色工程有限公司 |
| 地址 | 100038北京市北京市海淀区复兴路12号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种三氯氢硅加压提纯方法及其装置，将待提纯的三氯氢硅、四氯化硅、氯硅烷混合液输入提纯塔的加料口，混合液经提纯塔下流至蒸馏釜，蒸馏釜压力为0.15MPa～1.5Mpa、温度为70℃～200℃；从蒸馏釜出来的蒸汽进入提纯塔中进行热量与成分的交换与分离，提纯塔内的操作温度为40～150℃，沸点低的三氯氢硅组分在汽相中富集，沸点高的四氯化硅组分在液相中富集，经过多次汽化、冷凝，最终在汽相中得到三氯氢硅汽化组分，然后进入塔顶水冷凝器，经循环水冷却、冷凝成三氯氢硅液体。本发明可使同样塔径的提纯塔产量提高50％；减少了冷冻所需的设备投资和设备运行费用，塔顶水冷凝器的换热效率提高约15％，大大降低了能耗。 |
