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一种碳化硅晶片抛光工艺转运用装置

基本信息

申请号 CN201921914353.7 申请日 -
公开（公告）号 CN212332677U 公开（公告）日 2021-01-12
申请公布号 CN212332677U 申请公布日 2021-01-12
分类号 B62B3/00(2006.01)I 分类 无轨陆用车辆;
发明人 徐良;曹力力;蓝文安;朱卫祥;夏建白;李京波 申请（专利权）人 浙江博蓝特半导体科技股份有限公司
代理机构 北京辰权知识产权代理有限公司 代理人 浙江博蓝特半导体科技股份有限公司
地址 321000浙江省金华市南二环西路2688号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及一种碳化硅晶片抛光工艺转运用装置，包括推车框架、用于盛放陶瓷盘的多个陶瓷盘架、万向滚轮和直行滚轮，万向滚轮和直行滚轮分别转动连接于推车框架的底部两侧，多个陶瓷盘架沿推车框架的高度依次安装于推车框架的内部，多个陶瓷盘架与水平面成成夹角θ倾斜设置，夹角θ的角度为10‑20度。本实用新型的碳化硅晶片抛光工艺转运用装置，可以高效稳定的对各工序陶瓷盘进行转运，也可以用于临时存放陶瓷盘，操作方便，能有效保证生产效率和产品质量。