碳化硅晶片清洗装置
基本信息
| 申请号 | CN201922207328.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN211757266U | 公开（公告）日 | 2020-10-27 |
| 申请公布号 | CN211757266U | 申请公布日 | 2020-10-27 |
| 分类号 | B08B3/12(2006.01)I | 分类 | 清洁; |
| 发明人 | 徐良;曹力力;蓝文安;刘建哲;余雅俊;夏建白;李京波;郭炜;叶继春 | 申请（专利权）人 | 浙江博蓝特半导体科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京辰权知识产权代理有限公司 | 代理人 | 浙江博蓝特半导体科技股份有限公司 |
| 地址 | 321000浙江省金华市南二环西路2688号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供了一种碳化硅晶片清洗装置，该装置包括底座、把手、至少一个支撑杆和多个围栏；所述把手通过所述支撑杆连接在所述底座上；所述多个围栏分别连接在所述底座上，并且所述多个围栏与所述支撑杆以及所述底座合围形成容纳空间。该装置可以高效稳定的对装有晶片的多个卡塞盒进行清洗和转运，也可以用于临时存放卡塞盒，非常方便工人操作使用，还能够防止卡塞盒跌落造成的损失，有效的保证了生产效率和产品质量。 |
