基于多光谱的半导体智能检测装置
基本信息
申请号 | CN202021341582.7 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN212780559U | 公开(公告)日 | 2021-03-23 |
申请公布号 | CN212780559U | 申请公布日 | 2021-03-23 |
分类号 | G01N21/01(2006.01)I;G01N21/892(2006.01)I;G01N21/25(2006.01)I | 分类 | 测量;测试; |
发明人 | 黄立 | 申请(专利权)人 | 苏州富鑫林光电科技有限公司 |
代理机构 | 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人 | 吴竹慧 |
地址 | 215000江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城16幢501室 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型涉及工业自动化的技术领域,特别是涉及一种基于多光谱的半导体智能检测装置,其能够有效改善产品缺陷的检测效果,提高产品检测效率,降低使用局限性;包括工作台、多光谱成像处理器、电机、减速机、主动轴、从动轴和传送带,工作台的底端设置有四组支撑腿,多光谱成像处理器固定安装在工作台的顶端,多光谱成像处理器的前端设置有显示屏和光学镜头,工作台顶端的左右两侧分别对称的设置有两组左立板和两组右立板,电机和减速机固定安装一组左立板的前端,电机的输出端与减速机的输入端连接,主动轴通过与减速机输出端的连接转动安装在两组左立板上,从动轴转动安装在两组右立板上,传送带转动套装在主动轴和从动轴的圆周外壁上。 |
