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基于光学反射定律对真空玻璃真空度的在线检测方法

基本信息

申请号 CN201710545281.2 申请日 -
公开（公告）号 CN107328519B 公开（公告）日 2019-09-27
申请公布号 CN107328519B 申请公布日 2019-09-27
分类号 G01L21/00;G01L11/02 分类 测量；测试;
发明人 刘伟伟;李帅;林列;陈平 申请（专利权）人 威海光子信息技术产业研究院有限公司
代理机构 天津耀达律师事务所 代理人 南开大学
地址 300071 天津市南开区卫津路94号
法律状态 -

摘要

摘要 一种基于光学反射定律对真空玻璃真空度的在线检测方法，其目的是实时在线检测真空玻璃在抽气封口时其内部的真空度的变化，并以此作为品控手段来满足生产要求提高成品率。其技术方案为：通过利用真空玻璃的上下两块平板玻璃的四个表面对检测光束的反射，搭建起一条多次反射的光路，在真空玻璃的生产过程的排气封口步骤中，由于真空玻璃内部狭缝与外部大气压强作用而产生的压强差的作用下，则上下层平板玻璃表面会发生一定量的内凹形变，由此将会导致反射光路的光斑的移动，我们由反射光路光斑的移动即可断定真空玻璃内部压强的变化，由反射光斑移动的位移来判断真空玻璃内部压强变化大小。以此达到品控的目的来提高真空玻璃出厂成品率。