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硅棒多工位组合加工机

基本信息

申请号 CN201610786297.8 申请日 -
公开（公告）号 CN106181610B 公开（公告）日 2019-01-29
申请公布号 CN106181610B 申请公布日 2019-01-29
分类号 B24B5/36（2006.01）I; B24B9/06（2006.01）I; B24B27/00（2006.01）I; B24B41/00（2006.01）I 分类 磨削；抛光;
发明人 卢建伟 申请（专利权）人 海宁市日进科技有限公司
代理机构 浙江杭州金通专利事务所有限公司 代理人 天通日进精密技术有限公司
地址 314400 浙江省嘉兴市海宁市经济开发区双联路129号6号楼
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供一种硅棒多工位组合加工机，包括：机座，具有硅棒加工台；硅棒移送设备，邻设于硅棒加工台的装卸区位，用于将硅棒转移至硅棒加工台或经加工后的硅棒转移出硅棒加工台；第一加工设备，设于硅棒加工台的第一加工区位，用于对硅棒进行第一加工作业；第二加工设备，设于硅棒加工台的第二加工区位，用于对硅棒进行第二加工作业；硅棒转换设备，设于硅棒加工台上，用于将硅棒承托台上承托的由硅棒移送设备转移来的硅棒在硅棒加工台上的各个区位之间转换。本发明硅棒多工位组合加工机，集合了多个作业设备，可利用硅棒移送设备能将硅棒快速、平稳且无损伤地进行移送，能自动化实现硅棒加工的多个工序作业，节省人工成本且提高生产效率。