生物刻蚀设备及生物刻蚀方法
基本信息
| 申请号 | CN202110220152.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113161261A | 公开（公告）日 | 2021-07-23 |
| 申请公布号 | CN113161261A | 申请公布日 | 2021-07-23 |
| 分类号 | H01L21/67（2006.01）I;H01L21/302（2006.01）I;H01L21/311（2006.01）I;B81C1/00（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 蓝梓淇 | 申请（专利权）人 | 广东绿展科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京润平知识产权代理有限公司 | 代理人 | 陈潇潇 |
| 地址 | 528251广东省佛山市南海区桂城街道夏南路12号天富科技中心4号楼1层102单元1室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种生物刻蚀设备及生物刻蚀方法，包括：底座，底座上安装有：刻蚀箱体，刻蚀箱体具有能够置入待加工基体的侧开口；刻蚀箱体的内底部设置有用于培养刻蚀菌群的培养基，内顶部设置有移动吊具，移动吊具能够悬吊待加工基体并将待加工基体移动至预定位置；进料装置，活动安装在底座上，进料装置能够通过垂直运动和水平运动托起待加工基体，并将待加工基体通过侧开口送入或移出刻蚀箱体；控制装置，与刻蚀箱体和进料装置电连接，用于控制进料装置运动以及控制移动吊具动作。简化了工艺流程，工艺简单易操作；生物刻蚀的刻蚀效率高，刻蚀精度能够满足加工需要。 |
