芯片刻蚀装置
基本信息
| 申请号 | CN202110225638.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112908905A | 公开（公告）日 | 2021-06-04 |
| 申请公布号 | CN112908905A | 申请公布日 | 2021-06-04 |
| 分类号 | H01L21/67;H01L21/677;B01J19/00;B01J19/18 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 蓝梓淇 | 申请（专利权）人 | 广东绿展科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京润平知识产权代理有限公司 | 代理人 | 陈潇潇 |
| 地址 | 528251 广东省佛山市南海区桂城街道夏南路12号天富科技中心4号楼1层102单元1室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种芯片刻蚀装置，包括：箱体，箱盖；隔板，将箱体分隔成刻蚀箱和清洗箱；刻蚀箱和清洗箱内均安装有升降机构，包括导向柱和承托组件，承托组件沿导向柱的延伸方向移动，承托组件用于安放芯片夹；在刻蚀状态中，刻蚀箱内的承托组件携带芯片夹浸入刻蚀液或浮出刻蚀液至推料位置，在清洗状态下，清洗箱内的承托组件携带芯片夹浸入芯片清洗液或浮出芯片清洗液至接料位置；第一驱动装置驱动承托组件沿对应的导向柱的延伸方向移动；推料机构，包括推杆，通过驱动推杆推动芯片夹至清洗箱内的承托组件上。该芯片刻蚀装置，整合了芯片刻蚀和芯片清洗工序，解决了芯片刻蚀后因其上附着的刻蚀液滴落引起腐蚀的问题，提高了芯片的加工效率。 |
