微电子元器件高真空热板烘烤除气炉
基本信息
| 申请号 | CN202021694976.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212842971U | 公开（公告）日 | 2021-03-30 |
| 申请公布号 | CN212842971U | 申请公布日 | 2021-03-30 |
| 分类号 | F27D11/10(2006.01)I;F25D1/02(2006.01)I;F27D1/18(2006.01)I;F27D9/00(2006.01)I | 分类 | 炉；窑；烘烤炉；蒸馏炉〔4〕; |
| 发明人 | 周佳崎;凤旭;徐晓伟;周伟 | 申请（专利权）人 | 上海微行炉业有限公司 |
| 代理机构 | 苏州谨和知识产权代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 唐静芳 |
| 地址 | 201600上海市松江区泖港镇中民路599弄1号第二幢一层-A157 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及一种微电子元器件高真空热板烘烤除气炉，包括机壳和设置在所述机壳内的加热箱体，所述加热箱体内设置有至少一层放置待烘烤元器件的加热板，所述加热板内埋设有加热管，所述除气炉还包括围设在所述加热箱体外的箱体水路，所述箱体水路内流通有对所述加热箱体散热的冷却液体。本实用新型除气炉通过采用加热板埋设加热管的方式来对元器件进行加热，元器件直接与加热板相接触，以使得加热源贴近元器件，并进行直接加热，从而达到更佳的除气效果；此外，加热箱体外壁围设有箱体水路，箱体水路里可流通冷却液体以对加热箱体快速冷却，从而提高生产效率。 |
