一种激光辅助镀金刚石薄膜的工艺装置
基本信息
| 申请号 | CN201921401604.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN210367899U | 公开（公告）日 | 2020-04-21 |
| 申请公布号 | CN210367899U | 申请公布日 | 2020-04-21 |
| 分类号 | C23C16/27;C23C16/48 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 卢国东;蔡茜 | 申请（专利权）人 | 杭州玄和科技有限公司 |
| 代理机构 | 成都为知盾专利代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 杭州玄和科技有限公司;四川蓝手科技有限公司 |
| 地址 | 310000 浙江省杭州市拱墅区庆隆苑26幢26-20号(二层)商铺 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种激光辅助镀金刚石薄膜的工艺装置，其中主要由激光发射器、透镜、石英窗口、工艺气进气管、光束阻挡器、衬底、衬底支架、抽气阀门、外接真空系统、水冷系统和镀膜腔体组成。所述激光发射器位于镀膜腔体正上方，通过透镜和石英窗口将激光光束引入镀膜腔体内部，工艺气体在激光激发的作用下等离子化，经过等离子化的气体溅射到基材上，使基材表面上形成等离子体羽辉，从而形成金刚石薄膜。本实用新型是通过改变反应气体的介质和流量比，实现SP2和SP3型金刚石复合化和纳米化。本实用新型采用激光激发镀膜沉积速度可提高10～100倍，甚至更高，在高技术和各种工业领域有着十分广阔的应用前景。 |
