一种聚酰亚胺/类金刚石复合柔性膜及其制备方法与应用

基本信息

申请号 CN202010402064.X 申请日 -
公开(公告)号 CN111455345A 公开(公告)日 2020-07-28
申请公布号 CN111455345A 申请公布日 2020-07-28
分类号 C23C16/26;C23C16/02;C23C16/513;H01L51/52 分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人 陈小雄;林申旺;李志华 申请(专利权)人 山东申华光学科技有限公司
代理机构 济南圣达知识产权代理有限公司 代理人 陈辉
地址 250306 山东省济南市长清区通发大道1399号大学科研成果转化服务中心5楼西
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及柔性显示屏技术领域,具体涉及一种聚酰亚胺/类金刚石复合柔性膜及其制备方法与应用。所述复合柔性膜包括聚酰亚胺膜和类金刚石碳膜,且该类金刚石碳膜沉积或者镀在聚酰亚胺膜的表面。本发明在PI薄膜表面直接镀上DLC膜,显著提高了PI膜的表面硬度,增加了PI膜的耐磨性能,这种镀有DLC膜的PI膜作为折叠式显示屏或者柔性显示屏完全能起到防止表面划损作用。而且这种PI/DLC复合柔性膜不仅表面平整光滑,结构致密,摩擦系数小,硬度比单纯的PI薄膜在硬度上提高了2‑3个H。经过稳定性测试,这种PI/DLC复合柔性膜在水中浸泡一周后,DLC膜没有脱离现象。另外,用双手揉搓所制备的复合膜1000次也没有起泡或脱膜现象。