一种高硬度TiAlZrN/CrN纳米多层涂层及其制备方法专利查询专利号|摘要-满商公司网

一种高硬度TiAlZrN/CrN纳米多层涂层及其制备方法

基本信息

申请号	CN201410398736.9	申请日	-
公开（公告）号	CN104152857B	公开（公告）日	2017-05-17
申请公布号	CN104152857B	申请公布日	2017-05-17
分类号	C23C14/35(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I;B32B9/04(2006.01)I;B82Y40/00(2011.01)I	分类	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人	张福深;刘辉;李伟	申请（专利权）人	徐州力泰钢结构有限公司
代理机构	上海新天专利代理有限公司	代理人	祖志翔
地址	221300 江苏省徐州市邳州碾庄工业园区
法律状态	-

摘要

本发明公开了一种高硬度TiAlZrN/CrN纳米多层涂层及其制备方法；所述纳米多层涂层由多个TiAlZrN层和CrN层构成，各TiAlZrN层和CrN层交替沉积在基体上形成纳米量级多层结构，其总厚度为2.4～5.8μm；所述纳米多层涂层的制备方法为首先将基体表面抛光处理，经超声波清洗和离子清洗后，再采用反应溅射法在基体上交替溅射TiAlZrN层和CrN层。本发明具有高硬度和高弹性模量，其最高硬度和最高弹性模量分别可达47.2 GPa和486.2GPa，由于CrN层的插入使涂层具有良好的耐蚀性，可广泛作用于切削刀具、模具等零件的保护性涂层，其制备方法具有工艺简单、沉积速度快、成本低、结合强度高等优点。