一种差异化检测的气体传感器及其气体检测方法
基本信息
| 申请号 | CN202110958215.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113504272A | 公开（公告）日 | 2021-10-15 |
| 申请公布号 | CN113504272A | 申请公布日 | 2021-10-15 |
| 分类号 | G01N27/12（2006.01）I;B82Y15/00（2011.01）I;B82Y30/00（2011.01）I;B82Y40/00（2011.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 陈卓;沈国震;周清峰 | 申请（专利权）人 | 艾感科技（广东）有限公司 |
| 代理机构 | 北京之于行知识产权代理有限公司 | 代理人 | 何志欣 |
| 地址 | 528012广东省佛山市禅城区环市朝东大塘涌新村（2）-121号楼五楼自编11号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种差异化检测的气体传感器及其气体检测方法，至少包括三维纳米管气体传感器阵列，所述三维纳米管贯穿阳极氧化铝薄膜并且允许气体从三维纳米管的两端流通，其中，所述阳极氧化铝薄膜第一表面的沿第一方向排列的且与传感区域对应的若干第一电极以打线结合的方式进行短接；所述阳极氧化铝薄膜第二表面的沿第二方向排列的且与传感区域对应的共用第二电极与陶瓷层第一表面上的第三电极连接，所述阳极氧化铝薄膜中由第一电极和第二电极电连接区域形成用于采集气体成分的传感区域。本发明将结合打线接合技术及上下交叉电极技术，集成三维纳米管阵列，完成上下电极的引出，实现了能够同时探测多种气体的三维纳米管传感器阵列。 |
