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一种用于芯片缺陷检测系统图像获取的照明装置

基本信息

申请号 CN202111096263.3 申请日 -
公开（公告）号 CN113758873A 公开（公告）日 2021-12-07
申请公布号 CN113758873A 申请公布日 2021-12-07
分类号 G01N21/01（2006.01）I;G01N21/88（2006.01）I;G01N21/95（2006.01）I 分类 测量；测试;
发明人 程坦;刘涛;邹爱刚;汪玮 申请（专利权）人 中科海拓（无锡）科技有限公司
代理机构 安徽善安知识产权代理事务所（特殊普通合伙） 代理人 陈庭
地址 214000江苏省无锡市滨湖区新城置业大厦20楼
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种用于芯片缺陷检测系统图像获取的照明装置，包括遮光罩、镜头固定座、同轴平行光源模块和漫射光源模块，所述镜头固定座安装在遮光罩的上端。本发明所述的一种用于芯片缺陷检测系统图像获取的照明装置，通过设有的同轴平行光源模块和漫射光源模块，当平行光线照射在芯片表面时，引脚面和中心焊盘等金属区域部分在平行光的照射下发生镜面发射，而塑封面由于其表面粗糙度较大，则发生漫反射，而由漫射光源模块的漫射LED灯珠发射的漫射光照射在芯片表面时，可以增强照射在塑封面表面的光照强度，使得芯片表面缺陷成像效果更加的均匀，可以提高芯片表面缺陷图像的质量，有利于后续更好的对图像进行处理和分析。