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电子级高纯甲基磺酸的合成

基本信息

申请号 CN200810052794.0 申请日 -
公开（公告）号 CN101560173A 公开（公告）日 2009-10-21
申请公布号 CN101560173A 申请公布日 2009-10-21
分类号 C07C309/04(2006.01)I;C07C303/16(2006.01)I 分类 有机化学〔2〕;
发明人 张文仲 申请（专利权）人 天津市康沃特科技有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 300384天津市华苑产业园区物华道8号凯发大厦A座522室
法律状态 -

摘要

摘要 电子级高纯甲基磺酸的合成。甲基磺酸是微电子行业芯片集成电路的封装后处理电镀工序的主剂。本发明是以二甲基二硫为原料用过氧化氢一步氧化成甲基磺酸。工艺简单，节能，无三废，是绿色环保型工艺。