一种半导体芯片生产设备的机械手传送设备
基本信息
| 申请号 | CN202022280528.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214878420U | 公开（公告）日 | 2021-11-26 |
| 申请公布号 | CN214878420U | 申请公布日 | 2021-11-26 |
| 分类号 | B65G47/91（2006.01）I | 分类 | 输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料; |
| 发明人 | 占方耀 | 申请（专利权）人 | 深圳市永而佳电子有限公司 |
| 代理机构 | 杭州知管通专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 尉敏 |
| 地址 | 518000广东省深圳市光明新区公明办事处玉律社区第六工业区第21栋2、3楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种半导体芯片生产设备的机械手传送设备，包括机械手臂，所述机械手臂内部设有腔体，所述腔体内部设有滑杆，所述腔体内固定有两块限位板，所述滑杆通过贯穿两块所述限位板在腔体内部上下滑动，所述机械手臂外壁固定有与滑杆外壁连接的伸缩机构，所述机械手臂顶部设有用于夹持芯片的夹持机构，所述夹持机构通过活动机构与滑杆活动连接，所述机械手臂下方设有凸形固定底座，所述机械手臂下端设有与凸形固定底座配合的凹口，所述机械手臂通过第二转轴与凸形固定底座活动连接。本实用新型结构合理，便于对不同长度的半导体芯片进行固定，芯片在固定的时候不易受损，且较传统机械手机动性更强。 |
