一种辅助集成电路近场扫描仪精准定位的装置和方法
基本信息
| 申请号 | CN202210160261.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114217143A | 公开（公告）日 | 2022-03-22 |
| 申请公布号 | CN114217143A | 申请公布日 | 2022-03-22 |
| 分类号 | G01R29/08（2006.01）I;G01R31/28（2006.01）I;G01B5/00（2006.01）I;G01B11/00（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 张红丽;齐晓辉;李宏;吴健煜;郑亦菲 | 申请（专利权）人 | 天津鲲鹏信息技术有限公司 |
| 代理机构 | 长沙国科天河知识产权代理有限公司 | 代理人 | 段盼姣 |
| 地址 | 300459天津市滨海新区塘沽海洋科技园汇祥道399号信安创业广场9号楼8-9层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请涉及一种辅助集成电路近场扫描仪精准定位的装置和方法。该装置包括位于被测集成电路正上方的探头，对探头进行位移调度的计算机及配套的三维移动平台，第一显微镜、第二显微镜以及标尺；标尺平行贴靠在被测集成电路的第一边，该第一边的第一端点对应标尺上的第一刻度点，取该第一端点为被测集成电路原点；第一显微镜中心轴线与探头尖共线并与XY平面垂直，在XY平面内移动第一显微镜和探头进行X、Y轴定位；第二显微镜中心轴线与探头尖共线并与被测集成电路第一边成45度角；根据预设测试高度、第二显微镜读取的标尺刻度值以及第一刻度点，实现探头在Z轴的定位。本装置能够实现近场扫描装置Z轴精准定位，使近场扫描测试结果更精确。 |
