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一种晶圆焊接用托盘

基本信息

申请号 CN202020824365.7 申请日 -
公开（公告）号 CN211654798U 公开（公告）日 2020-10-09
申请公布号 CN211654798U 申请公布日 2020-10-09
分类号 H01L21/687(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 桂琴;陈昊;廉鹏 申请（专利权）人 马鞍山太时芯光科技有限公司
代理机构 合肥正则元起专利代理事务所（普通合伙） 代理人 马鞍山太时芯光科技有限公司
地址 243000安徽省马鞍山市承接产业转移示范园区凤凰山西路146号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开一种晶圆焊接用托盘，包括托盘本体，托盘本体安装于支撑板上，支撑板下表面安装有两个第一槽钢，两个第一槽钢之间转动设置有第一转动杆，两个第一槽钢之间滑动设置有第一移动杆，支撑板下方设置有底板，底板上表面安装有两个第二槽钢。本实用新型通过将晶圆放置在托盘本体顶部，开启气泵，气泵通过抽气端从出气孔处抽取抽气腔内的空气，从而使得抽气腔呈负压状态，进而晶圆通过抽气孔被吸附在托盘本体顶部，通过以上结构设置，通过抽真空结构将晶圆固定在托盘上，对晶圆的固定效果好，解决现有技术中晶圆固定用托盘为普通夹持方式对晶圆进行固定，固定不方便，同时无法满足大尺寸晶圆固定的技术问题。