一种硒化氢生产系统

基本信息

申请号 CN201820737572.1 申请日 -
公开(公告)号 CN208200386U 公开(公告)日 2018-12-07
申请公布号 CN208200386U 申请公布日 2018-12-07
分类号 C01B19/04 分类 无机化学;
发明人 裴友宏;吴祥虎;吴杰 申请(专利权)人 郴州湘能半导体气体有限公司
代理机构 佛山市禾才知识产权代理有限公司 代理人 江西华特电子化学品有限公司;郴州湘能半导体气体有限公司;广东华特气体股份有限公司
地址 330300 江西省九江市永修县经济开发区星火工业园
法律状态 -

摘要

摘要 一种硒化氢生产系统,包括吹扫管、氢气瓶、反应釜、吸附器、冷阱、吸收瓶、尾气处理装置和排空管;吹扫管用于吹扫生产系统;氢气瓶的输出端连接于反应釜的输入端;反应釜的输出端连接于连接吸附器的输入端;吸附器的输出端连接于吸收瓶的输入端;吸收瓶设置于冷阱内;排空管包括第一排空管、第二排空管和第三排空管;第一排空管的一端连接至吸附器的输出端,第一排空管的另一端连接至尾气处理装置;第二排空管的一端和第三排空管的一端分别连接至冷阱的输出端,第二排空管的另一端和第三排空管的另一端分别连接至尾气处理装置。本实用新型根据上述内容提出一种硒化氢生产系统,能够制备高纯度的硒化氢。