蒸镀盖板及蒸镀装置
基本信息
| 申请号 | CN202022845534.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214881790U | 公开（公告）日 | 2021-11-26 |
| 申请公布号 | CN214881790U | 申请公布日 | 2021-11-26 |
| 分类号 | C23C14/24（2006.01）I;C23C14/04（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 林文晶;轩景泉;赵军;钱海涛;毕岩;刘萍 | 申请（专利权）人 | 上海升翕光电科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京汇思诚业知识产权代理有限公司 | 代理人 | 周放 |
| 地址 | 200540上海市金山区夏宁路666弄62号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请涉及蒸镀设备技术领域，提供了一种蒸镀盖板及蒸镀装置，前者包括盖板本体；盖板本体至少设置有三个同心设置的遮盖区，且遮盖区中开设有均匀间隔的蒸镀口；盖板本体朝向待蒸镀基材的一侧还设置有喷嘴，喷嘴与蒸镀口一一对应设置；其中，沿盖板本体的径向，位于盖板本体的中心部的喷嘴竖直向上设置；位于盖板本体的中间部的喷嘴向上倾斜并朝向盖板本体的中心设置；位于盖板本体的外周部的喷嘴向上倾斜并背离盖板本体的中心设置。后者包括前者。该蒸镀盖板能够在蒸镀材料从喷嘴通过掩膜板的开口蒸镀到基材的过程中，将蒸镀材料均匀逸散混合，使基材的各个待蒸镀部位都能够被均匀等厚地蒸镀。 |
