蒸镀坩埚及蒸镀装置
基本信息
| 申请号 | CN202120052787.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214881794U | 公开（公告）日 | 2021-11-26 |
| 申请公布号 | CN214881794U | 申请公布日 | 2021-11-26 |
| 分类号 | C23C14/24（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 林文晶;轩景泉;赵军;崔建勇 | 申请（专利权）人 | 上海升翕光电科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京汇思诚业知识产权代理有限公司 | 代理人 | 周放 |
| 地址 | 200540上海市金山区夏宁路666弄62号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请涉及蒸镀设备技术领域，提供了一种蒸镀坩埚及蒸镀装置，前者包括坩埚本体和加热装置；坩埚本体具有用于盛装蒸镀材料的容腔，且容腔的顶部开设有开口；加热装置设置于坩埚本体外部；其中，开口所在的平面与水平方向倾斜设置。该蒸镀坩埚将容腔中的蒸镀材料加热到熔化挥发时，蒸镀材料便可从开口逸散出去，而且由于开口朝向基材的中部倾斜设置，这样蒸镀材料的蒸镀角也会相应的朝向基材的中部倾斜，从而使蒸镀材料能够更充分地蒸镀到基材的边角部、能够减少蒸镀材料浪费、降低蒸镀成本。 |
