蒸镀坩埚及蒸镀装置
基本信息
| 申请号 | CN202120056058.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214881795U | 公开（公告）日 | 2021-11-26 |
| 申请公布号 | CN214881795U | 申请公布日 | 2021-11-26 |
| 分类号 | C23C14/24（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 林文晶;轩景泉;赵军;崔建勇 | 申请（专利权）人 | 上海升翕光电科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京汇思诚业知识产权代理有限公司 | 代理人 | 周放 |
| 地址 | 200540上海市金山区夏宁路666弄62号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请涉及蒸镀设备技术领域，提供了一种蒸镀坩埚及蒸镀装置，前者包括坩埚本体和加热装置；坩埚本体具有多个用于盛装蒸镀材料的容腔，且每个容腔的顶部开设有开口；加热装置设置于坩埚本体外部，能够分别加热各个容腔；其中，容腔共用一个开口。与现有技术中点蒸镀工艺中的圆桶装蒸镀坩埚相比，本申请实施提供的蒸镀坩埚能够使不同种类的蒸镀材料以相同受热消耗速率来对基材进行同时蒸镀，提高了不同蒸镀材料同时蒸镀时的蒸镀品质。 |
