一种桌面便携式无掩膜曝光机
基本信息
| 申请号 | CN202220190994.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN216871006U | 公开（公告）日 | 2022-07-01 |
| 申请公布号 | CN216871006U | 申请公布日 | 2022-07-01 |
| 分类号 | G03F7/20（2006.01）I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 周锐;陈哲堃;王振忠;朱宇超;严星;洪明辉 | 申请（专利权）人 | 厦门大学 |
| 代理机构 | 厦门市首创君合专利事务所有限公司 | 代理人 | - |
| 地址 | 361000福建省厦门市思明南路422号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种桌面便携式无掩膜曝光机，其特征在于：包括壳体和安装在所述壳体内的激光系统、微透镜阵列模块、移动平台及电源，所述的微透镜阵列模块设在激光系统与移动平台之间，所述的移动平台承载加工基片，激光系统发出的激光束照射到微透镜阵列模块上被分束和聚焦后投射到移动平台上的加工基片进行曝光。它具有如下优点：实现无掩膜光刻，加工效率高，尤其适用周期性图案的曝光加工，小型化、便于移动和携带。 |
