一种基于光谱分辨干涉测量球棒的热变形装置及方法
基本信息
| 申请号 | CN201910540473.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110174073A | 公开（公告）日 | 2019-08-27 |
| 申请公布号 | CN110174073A | 申请公布日 | 2019-08-27 |
| 分类号 | G01B11/16 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 于连栋;程杰;赵会宁;夏豪杰;李维诗 | 申请（专利权）人 | 佛山市天目工业测量科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京市科名专利代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 陈朝阳 |
| 地址 | 528000 广东省佛山市三水工业园乐平西乐大道东39号登骏数码城二期厂房35号五层501#单元 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明属于光学精密测量领域，公开一种基于光谱分辨干涉测量球棒的热变形装置，包括待测标准球棒、恒温加热系统、多目标干涉装置和光谱仪，所述待测标准球棒两端各设置有一标准球分别作为多目标干涉装置的测量对象，所述恒温加热系统设置特定的温度，通过温度传感器反馈控制恒定温度；所述多目标干涉装置固定安装在粗波分复用器通道出口，利用粗波分复用器将光源分割为测量通道的数量，并且每个通道的输出具有其自己的滤波光谱；所述光谱仪作为信号接收器件，飞秒激光光源经过光环形器到达粗波分复用器，分割光路分别进行测量，干涉返回的光在粗波分复用器复合再经光环形器到达光谱仪接收。获得球棒根据温度变化的热变形量，对其精度进行标定。 |
