首页/ 无锡卓海科技股份有限公司/ 专利详情

一种晶圆检测装置用信号模糊控制滤波器

基本信息

申请号 CN202010945635.4 申请日 -
公开（公告）号 CN112038252B 公开（公告）日 2021-03-16
申请公布号 CN112038252B 申请公布日 2021-03-16
分类号 H01L21/66(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 李玲娅;戴金方;耿晓杨 申请（专利权）人 无锡卓海科技股份有限公司
代理机构 无锡华源专利商标事务所（普通合伙） 代理人 过顾佳;聂启新
地址 214000江苏省无锡市天山路6-2407
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种晶圆检测装置用信号模糊控制滤波器，涉及半导体技术领域，该信号模糊控制滤波器串接在晶圆检测装置的检测传感器和处理器之间获取原始传感器信号，同时旁路连接同步齿条采样时间同步信号，基于原始传感器信号和时间同步信号可以产生处理后信号，处理后信号从原始传感器信号的第一次有效信号沿开始输出单个标准宽度的第一次有效电平，然后输出与原始传感器信号同步的电平直至原始传感器信号的第二次有效信号沿时再次输出单个标准宽度的第二次有效电平，处理后信号相对于原始传感器信号进行了理想化有特征的归一滤波，可以有效滤除掉原始传感器信号中的杂波以及各种异常噪声，从而可以有效提高晶圆检测装置的检出性能。