一种晶圆位置检测装置仿真测试系统
基本信息
| 申请号 | CN202010903005.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111983432A | 公开（公告）日 | 2020-11-24 |
| 申请公布号 | CN111983432A | 申请公布日 | 2020-11-24 |
| 分类号 | G01R31/28(2006.01)I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 戴金方 | 申请（专利权）人 | 无锡卓海科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 无锡华源专利商标事务所（普通合伙） | 代理人 | 无锡卓海科技有限公司 |
| 地址 | 214000江苏省无锡市天山路6-2407 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种晶圆位置检测装置仿真测试系统，涉及半导体技术领域，该系统利用测试方波发生器产生测试矢量发送给晶圆位置检测装置，可以自动化的对晶圆位置检测装置进行仿真测试而无需实测，易于实现。且通过测试矢量中时间同步信号的波形形态变化、传感器仿真信号的波形形态变化以及两者之间的相对相位调整，可以模拟下不同检测场景中不同晶圆放置状态，同时通过在波形中加入杂波并进行细分微调，可以模拟各类干扰影响因素，覆盖的测试情形更全面，可以有效测试晶圆位置检测装置的准确性、完备性和鲁棒性。 |
