一种透明晶圆薄膜应力测量系统
基本信息
| 申请号 | CN202011018352.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112082677A | 公开（公告）日 | 2020-12-15 |
| 申请公布号 | CN112082677A | 申请公布日 | 2020-12-15 |
| 分类号 | G01L1/24;G01B11/255;G01B11/06;H01L21/66 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 耿晓杨;陈杨;季建峰 | 申请（专利权）人 | 无锡卓海科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 无锡华源专利商标事务所（普通合伙） | 代理人 | 无锡卓海科技有限公司 |
| 地址 | 214000 江苏省无锡市天山路6-2407 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种透明晶圆薄膜应力测量系统，涉及半导体技术领域，包括共焦测距传感器、传感器固定台、晶圆固定台、传感器控制器、控制单元和计算机，传感器固定台带动共焦测距传感器沿水平x方向和垂直晶圆固定台z方向移动，传感器控制器连接共焦测距传感器，控制单元分别连接传感器控制器和传感器固定台，控制单元根据距离值调整传感器固定台沿x方向和z方向的位移值，以完成透明晶圆一个直径方向的测量，将距离值与传感器固定台对应的位移值进行处理得到透明晶圆在镀膜前的基片厚度、基片表面曲率以及镀膜后的膜厚、覆膜表面曲率，计算机连接控制单元，用于计算透明晶圆的应力数据，本系统利用光谱共焦测距技术提升了应力数据的准确度。 |
