扫描电子显微镜装置和电子束检测设备
基本信息
| 申请号 | CN202110746460.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113471042A | 公开（公告）日 | 2021-10-01 |
| 申请公布号 | CN113471042A | 申请公布日 | 2021-10-01 |
| 分类号 | H01J37/06（2006.01）I;H01J37/147（2006.01）I;H01J37/244（2006.01）I;H01J37/28（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 孟庆浪;孙伟强 | 申请（专利权）人 | 中科晶源微电子技术（北京）有限公司 |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 王益 |
| 地址 | 100176北京市大兴区北京经济技术开发区经海四路156号院12号楼5层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 提供扫描电子显微镜装置和电子束检测设备，扫描电子显微镜装置被配置成向待测样品的表面投射电子束，包括：电子束源；偏转机构；和物镜组件。偏转机构包括：第一偏转器，位于电子束源的下游；和第二偏转器，位于第一偏转器的下游。物镜组件包括：励磁线圈；和磁轭，由导磁材料形成为朝待测样品敞开的壳体，包括限定内部腔室的中空主体、和从中空主体成角度地向内朝光轴延伸的至少一个倾斜部分，所述至少一个倾斜部分的末端形成为极靴，所述励磁线圈容纳于所述内部腔室中。所述偏转机构还包括位于所述极靴与所述待测样品的表面之间的补偿电极，所述补偿电极被配置成在被施加电压激励情况下通过调整所述电压来调整所述电子束的聚焦位置。 |
