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用于电子束缺陷检测的像素尺寸校准方法和装置及设备

基本信息

申请号 CN202110583651.8 申请日 -
公开（公告）号 CN113379622A 公开（公告）日 2021-09-10
申请公布号 CN113379622A 申请公布日 2021-09-10
分类号 G06T5/00（2006.01）I;G06T7/00（2017.01）I;G06T7/62（2017.01）I;G06K9/62（2006.01）I 分类 计算；推算；计数;
发明人 甘远;韩春营;杨彩虹;薛磊;严锋;俞宗强 申请（专利权）人 中科晶源微电子技术（北京）有限公司
代理机构 北京市鼎立东审知识产权代理有限公司 代理人 陈佳妹;朱慧娟
地址 102600北京市大兴区北京经济技术开发区经海四路156号院12号楼5层
法律状态 -

摘要

摘要 本申请涉及一种用于电子束缺陷检测的像素尺寸校准方法和装置及设备，包括：读取所创建的标记点模板在工作台上的位置；控制工作台移动至以标记点模板在工作台上的位置为中心所确定的图像匹配点位置处，并获取工作台移动至图像匹配点位置后的图像作为校准图像；根据标记点模板和校准图像，得到校准图像的像素偏差数；基于像素偏差数，得到当前用于电子束缺陷检测的像素尺寸。其不需要人工计算标准尺寸常量在横向和纵向方向所占的像素数，能够实现全自动的校准过程，这也就避免了人为因素对校准结果的影响，更进一步地提高了校准结果的精确度。