一种全背电极太阳能电池的生产工艺
基本信息
| 申请号 | CN201610046118.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN105489710B | 公开（公告）日 | 2018-05-29 |
| 申请公布号 | CN105489710B | 申请公布日 | 2018-05-29 |
| 分类号 | H01L31/18;H01L31/068;H01L31/0224;H01B1/22 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 李运钧;朱航;杨蔚;曾国平;杨墨熹;李昕 | 申请（专利权）人 | 四川银河星源科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京远大卓悦知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 四川银河星源科技有限公司 |
| 地址 | 622650 四川省绵阳市安县工业园区(花荄镇) | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种全背电极太阳能电池的生产工艺，包括：(1)在n型硅衬底硅片背面形成具有指状交叉排列的背面n+扩散层区域、背面p+扩散层区域；在n型硅衬底硅片前表面形成前表面n+扩散层；(2)将n型硅衬底硅片进行退火氧化处理形成氧化层；(3)在n型硅衬底硅片的前表面和背面沉积钝化层；在前表面钝化层上沉积增反层；(4)将导电浆料印刷在背面钝化层上，烧结后，分别在背面p+扩散层区域和背面n+扩散层区域上形成接触电极，完成全背电极太阳能电池的制造。本发明将单一导电浆料同时印刷在背面p+扩散层和n+扩散层上的钝化层上，烧结后在p+扩散层和n+扩散层上形成低接触电阻的指状交叉导电电极，简化了IBC电池的生产工艺，降低了IBC电池的生产成本。 |
