一种TiAlSiN超硬梯度涂层的制备方法

基本信息

申请号 CN201510237876.2 申请日 -
公开(公告)号 CN104862652B 公开(公告)日 2017-01-18
申请公布号 CN104862652B 申请公布日 2017-01-18
分类号 C23C14/32(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I;C23C14/54(2006.01)I 分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人 张而耕;陈强 申请(专利权)人 马鞍山绿丞复合材料产业工程研究院有限公司
代理机构 上海申汇专利代理有限公司 代理人 上海应用技术学院;马鞍山精耕新材料科技有限公司;马鞍山绿丞复合材料产业工程研究院有限公司
地址 200235 上海市徐汇区漕宝路120号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明一种TiAlSiN超硬梯度涂层的制备方法,包括一个对工件表面进行喷砂和清洗的步骤,一个采用阴极离子镀工艺对工件镀制TiAlSiN超硬梯度涂层的步骤,包括六个阶段,第一阶段制备Ti打底涂层;第二阶段制备TiN梯度涂层,第三阶段制备TiAl梯度涂层,第四阶段制备TiAlN梯度涂层,第五阶段制备SiN梯度涂层,第六阶段制备TiSiN梯度涂层,最后对涂层表面进行抛光处理。通过本发明的方法制备的TiAlSiN梯度涂层的弹性模量可达340GPa,耐高温氧化温度可达1200℃,可实现对硬度为HRC60以上的淬火钢等工件进行高速切削加工,大幅度提高了刀具的使用寿命。