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一种MEMS微型拉曼光谱仪

基本信息

申请号 CN201720271500.8 申请日 -
公开（公告）号 CN207020083U 公开（公告）日 2018-02-16
申请公布号 CN207020083U 申请公布日 2018-02-16
分类号 G01N21/65 分类 测量；测试;
发明人 聂新明;田亚平;韩彩芹;朱超 申请（专利权）人 徐州市江苏师范大学激光科技有限公司
代理机构 北京科亿知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 江苏师范大学
地址 221000 江苏省徐州市铜山新区上海路101号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种MEMS微型拉曼光谱仪，包括采样模块、控制显示模块、MEMS色散模块，本实用新型的各个模块的集成程度更高，更容易缩小设备体积，可以做成手持式光谱仪，而且本实用新型可以对激光照明系统与拉曼散射光的透镜共光路产生的杂散光进行严格的抑制，本实用新型采用嵌入式操作系统完成数据处理功能，可以实现手持式使用，完全脱离电脑而独立工作，本实用新型采用采用MEMS技术光栅与可动F‑P腔集成的色散，可以保证在较宽的自由光谱范围的同时，又能够获得较窄的半峰全宽，获得高的光谱分辨率。