基于虚拟光栅尺的主动型超精密位移定位检测方法
基本信息
| 申请号 | CN201410401099.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN104181939B | 公开（公告）日 | 2016-08-31 |
| 申请公布号 | CN104181939B | 申请公布日 | 2016-08-31 |
| 分类号 | G05D3/12(2006.01)I;G01B11/02(2006.01)I | 分类 | 控制；调节; |
| 发明人 | 时轮 | 申请（专利权）人 | 上海智邦源智能科技有限公司 |
| 代理机构 | 上海交达专利事务所 | 代理人 | 王毓理;王锡麟 |
| 地址 | 200240 上海市闵行区东川路800号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种位置或方向的控制领域的基于虚拟光栅尺的主动型超精密位移定位检测方法，该方法首先进行宏定位，当定位位移小于条纹当量时上下移动光栅相位从而形成两路虚拟光栅尺信号，两路虚拟光栅尺信号分别对应上下两个移动方向，对两路虚拟光栅尺信号进行脉冲计数反馈控制以实现微定位。本发明形成具有双路输出信号的虚拟光栅尺输出脉冲，实现以虚拟光栅尺信号为反馈脉冲的闭环脉冲反馈控制以提高定位系统的检测控制精度。 |
