一种低成本LPCVD用载料舟及其制备方法
基本信息
| 申请号 | CN202010504497.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111627848A | 公开（公告）日 | 2020-09-04 |
| 申请公布号 | CN111627848A | 申请公布日 | 2020-09-04 |
| 分类号 | H01L21/673(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 居建华 | 申请（专利权）人 | 无锡永迈光伏科技有限公司 |
| 代理机构 | 苏州根号专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 无锡永迈光伏科技有限公司 |
| 地址 | 214000江苏省无锡市新吴区无锡中关村软件园21号楼(A3栋)117室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种低成本LPCVD用载料舟及其制备方法，它包括：金属骨架，所述金属骨架包括多块支撑板和连接杆组，多块所述支撑板相对且间隔设置；所述连接杆组包括连接多块所述支撑板的至少一根第一连接杆以及连接多块所述支撑板且与所述第一连接杆相平行的多根第二连接杆，所述第一连接杆与多根所述第二连接杆处于不同平面内，所述第一连接杆在多根所述第二连接杆所处平面内的投影落在间距最大两根所述第二连接杆之间；涂层，所述涂层形成在所述金属骨架的表面。从而减少LPCVD工艺的石英舟成本，可实现重复使用。 |
