一种硫化钼-石墨烯异质结光电导探测器及其制备方法

基本信息

申请号 CN201910831084.6 申请日 -
公开(公告)号 CN110690315A 公开(公告)日 2020-01-14
申请公布号 CN110690315A 申请公布日 2020-01-14
分类号 H01L31/109;H01L31/0336;H01L31/18 分类 基本电气元件;
发明人 慕飒米;张少先;刘永;杜明;李侠 申请(专利权)人 苏州枫桥光电科技有限公司
代理机构 南京纵横知识产权代理有限公司 代理人 苏州枫桥光电科技有限公司
地址 215000 江苏省苏州市高新区向街8号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种硫化钼‑石墨烯异质结光电导探测器及其异质结的制备方法,包括异质结,所述异质结包括设置在SiO2/Si衬底层上的MoS2层,所述MoS2层上设置有石墨烯层,所述石墨烯层上设置有若干个金属电极。本发明提供了一种具有低成本、高响应度的二维材料异质结负光电导探测器及其制备方法;通过采用二维材料转移技术,减少石墨烯/TMDC异质结界面层杂质问题,提高石墨烯/TMDC光导型探测器的光电特性。