一种基于叉指型电极结构的石墨烯光电探测器
基本信息
| 申请号 | CN201911110835.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110854234A | 公开（公告）日 | 2020-02-28 |
| 申请公布号 | CN110854234A | 申请公布日 | 2020-02-28 |
| 分类号 | H01L31/102;H01L31/0232;H01L31/0224 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 张少先;刘永;慕飒米;杜明;李侠 | 申请（专利权）人 | 苏州枫桥光电科技有限公司 |
| 代理机构 | 南京纵横知识产权代理有限公司 | 代理人 | 苏州枫桥光电科技有限公司 |
| 地址 | 215000 江苏省苏州市高新区向街8号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种基于叉指型电极结构的石墨烯光电探测器，所述光电探测器包括衬底层、以及设置在所述衬底层上的光波导，所述光波导上设置有介质隔离层，所述介质隔离层上设置有两片相互不接触的金属层，两片所述金属层作为电极；两片所述金属层上设置有石墨烯层，石墨烯层作为光吸收层。本发明提供了一种与CMOS工艺兼容，且具有高性能的基于叉指型电极石墨烯光电探测器。 |
