一种用热丝法制备TiC涂层的高温化学气相沉积装置
基本信息
| 申请号 | CN201320404896.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN203346470U | 公开（公告）日 | 2013-12-18 |
| 申请公布号 | CN203346470U | 申请公布日 | 2013-12-18 |
| 分类号 | C23C16/32(2006.01)I;C23C16/44(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 胡东平;刘伟;李建国;季锡林 | 申请（专利权）人 | 四川久钻科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京天奇智新知识产权代理有限公司 | 代理人 | 中国工程物理研究院总体工程研究所;四川中物超硬材料有限公司 |
| 地址 | 621908 四川省绵阳市绵山路64号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种用热丝法制备的涂层的高温化学气相沉积装置，包括进气系统和真空系统，真空系统包括真空腔体和耐酸机械泵，耐酸机械泵的液相出口与真空腔体的液相进口连接，进气系统包括氩气瓶、甲烷瓶、氩气瓶、四氯化钛密封瓶和混气室，氩气瓶的出口与四氯化钛密封瓶的进口连接，四氯化钛密封瓶的出口与混气室的进口连接，真空腔体内设置有加热钨丝，加热钨丝设置在电极上，电极上外接有直流电源。本实用新型采用化学气相沉积法和物理气相沉积相结合的方式避免了η相生成及腔体污染,减少了涂层内应力，可使硬质合金基体温度降低至600℃左右，制备涂层的颗粒尺寸降低，达到纳米级，提高纳米TiC涂层表面光洁度、耐高温性能。 |
