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用于电镀设备的晶圆夹具

基本信息

申请号 CN201810343833.6 申请日 -
公开（公告）号 CN110387571B 公开（公告）日 2021-07-30
申请公布号 CN110387571B 申请公布日 2021-07-30
分类号 C25D17/06（2006.01）I;C25D7/12（2006.01）I 分类 电解或电泳工艺；其所用设备〔4〕;
发明人 姜力;于勇 申请（专利权）人 颀中科技（苏州）有限公司
代理机构 北京康信知识产权代理有限责任公司 代理人 李佳佳
地址 215024江苏省苏州市工业园区凤里街166号
法律状态 -

摘要

摘要 一种用于电镀设备的晶圆夹具，包括一载具、至少一连动环、至少一电镀载体、至少一上盖以及至少一作动杆，载具于其侧壁处以同圆心方式固定着电镀载体及安装着可被转动的连动环，电镀载体圆周外壁边缘具有多个定位块，连动环圆周外壁底缘局部区域具有一齿轮区段，外壁顶缘则具有多个下卡块；上盖为环状盖体，环内壁顶缘分布着多个定位凹槽，环内壁底缘则设有一固定环，固定环内具有多个上卡块，作动杆纵向安装于载具内，其局部区段具有一齿条，齿条与齿轮区段相啮合。由此，当上盖覆盖于电镀载体后，因定位块位于定位凹槽内而被固定，操作者推动作动杆，利用齿条与齿轮区段啮合，进而使得连动环被转动，利用下卡块契合于上卡块进而旋紧上盖。