一种红外探测器及其制备方法
基本信息
| 申请号 | CN201511031750.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN106935676B | 公开（公告）日 | 2019-03-26 |
| 申请公布号 | CN106935676B | 申请公布日 | 2019-03-26 |
| 分类号 | H01L31/09（2006.01）I; H01L31/18（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 杨天伦; 毛剑宏 | 申请（专利权）人 | 浙江珏芯微电子有限公司 |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 上海丽恒光微电子科技有限公司;浙江珏芯微电子有限公司 |
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张江高科技园区龙东大道3000号5号楼501B室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供的红外探测器及其制备方法中，包括：提供基板，所述基板表面具有反射层；形成牺牲层、接触线、热敏电阻层以及红外吸收层，所述牺牲层分别位于所述反射层与所述热敏电阻层之间以及所述热敏电阻层与所述红外吸收层之间；去除所述牺牲层，在所述反射层与所述热敏电阻层之间以及所述红外吸收层与所述热敏电阻层之间分别形成空腔。本发明中，采用两层牺牲层，最终将两层牺牲层去除，分别在红外探测器中形成两个空腔，增加了红外吸收层的面积，减小红外探测器的热容损失，提高了器件的整体性能。 |
