含苯并噁嗪结构的共聚物成膜树脂及其深紫外负性化学增幅型光刻胶
基本信息
| 申请号 | CN200910058004.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN101463106B | 公开（公告）日 | 2010-07-28 |
| 申请公布号 | CN101463106B | 申请公布日 | 2010-07-28 |
| 分类号 | C08F212/14(2006.01)I;C08F212/32(2006.01)I;C08F216/12(2006.01)I;C08F222/40(2006.01)I;C08F8/32(2006.01)I;G03F7/038(2006.01)I | 分类 | 有机高分子化合物；其制备或化学加工；以其为基料的组合物; |
| 发明人 | 杨刚 | 申请（专利权）人 | 成都金桨高新材料有限公司 |
| 代理机构 | 成都信博专利代理有限责任公司 | 代理人 | 舒启龙 |
| 地址 | 610041 四川省成都市高朋大道5号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种含苯并噁嗪结构的共聚物成膜树脂，由共聚单体在自由基引发剂存在的条件下，通过在溶剂中进行聚合反应，以及相应的后处理制备而成，共聚单体为：含羟基苯乙烯单体(40～90份重量)、含苯并噁嗪结构的单体(5～40份重量)、丙烯酸酯类单体或/和苯乙烯类单体(1～40份重量)；共聚物成膜树脂的分子量为2000～40000，分子量分布为1.3～3。上述负性光刻胶主要由成膜树脂、光致产酸剂、交联剂、溶剂、有机碱、溶解抑制剂组成。本发明通过在聚对羟基苯乙烯主链(或侧链)上引入苯并噁嗪结构，提高成膜树脂的耐热性和热稳定性，并解决了光刻胶膜在烘烤时出现的收缩和热稳定性问题。 |
