多孔薄膜及其制备方法

基本信息

申请号 CN201710050807.X 申请日 -
公开(公告)号 CN106823844B 公开(公告)日 2019-09-27
申请公布号 CN106823844B 申请公布日 2019-09-27
分类号 B01D71/02;B01D69/02;B01D67/00 分类 一般的物理或化学的方法或装置;
发明人 宋斌;周超;梁金葵;付振晓;沓世我;王文长 申请(专利权)人 广东芯陶微电子有限公司
代理机构 广州华进联合专利商标代理有限公司 代理人 广东风华高新科技股份有限公司;风华研究院(广州)有限公司
地址 526020 广东省肇庆市风华路18号风华电子工业城
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种多孔薄膜及其制备方法,方法包括以下操作:将无机粉体、造孔剂、有机溶剂、分散剂和消泡剂混合,第一次研磨,得到混悬液,其中,以质量份数计,无机粉体为30份~40份,造孔剂为5份~15份,有机溶剂为15份~25份,分散剂为0.3份~5.5份,消泡剂为0.1份~1份;向混悬液中加入粘接剂和流平剂,第二次研磨,过滤,收集滤液,得到浆料,其中,以质量份数计,粘接剂为15份~38份,流平剂为0.1份~1.5份;排胶烧结浆料,得到多孔薄膜。上述多孔薄膜的制备方法,在制备过程中添加分散剂和流平剂,提高了制备得到浆料的均匀性,再将得到浆料进行排胶烧结,使得制备得到的多孔薄膜成孔均匀性好,有利于实际生产与应用。