一种生瓷片及LTCC基板表面粗糙度的调控方法
基本信息
| 申请号 | CN201710767741.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN107658230A | 公开（公告）日 | 2018-02-02 |
| 申请公布号 | CN107658230A | 申请公布日 | 2018-02-02 |
| 分类号 | H01L21/48;C04B35/10;C04B35/622 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 黄昆;黄明富;付振晓 | 申请（专利权）人 | 广东芯陶微电子有限公司 |
| 代理机构 | 广州三环专利商标代理有限公司 | 代理人 | 广东风华高新科技股份有限公司;风华研究院（广州）有限公司 |
| 地址 | 526000 广东省肇庆市风华路18号风华电子工业城 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种生瓷片及LTCC基板表面粗糙度的调控方法，属于半导体制造技术领域。本发明生瓷片表面粗糙度的调控方法包括以下步骤：(a)将带高分子膜的生瓷片叠放在平整的钢板上；(b)固定生瓷片、钢板和高分子膜后，进行真空封装；(c)进行等静压处理；本发明LTCC基板表面粗糙度的调控方法包括按照本发明方法对生瓷片表面粗糙度进行调控的步骤。本发明生瓷片表面粗糙度的调控方法通过对生瓷片进行等静压处理，实现生瓷片表面粗糙度的减低与可控，为后续工艺提供合格的生瓷片。 |
